吉時(shí)利全自動(dòng)半導(dǎo)體參數(shù)分析儀4200A-SCS參數(shù)分析儀

吉時(shí)利全自動(dòng)半導(dǎo)體參數(shù)分析儀4200A-SCS參數(shù)分析儀

加快各類材料、半導(dǎo)體器件和*工藝的開(kāi)發(fā)，完成制程控制、可靠性分析和故障分析。4200A-SCS是業(yè)內(nèi)性能電學(xué)特性參數(shù)分析儀，提供同步電流電壓曲線測(cè)試(I-V曲線測(cè)試)、電容-電壓曲線測(cè)試(C-V曲線測(cè)試)和超快脈沖I-V曲線測(cè)量。

　　主要性能指標(biāo)

　　I-V源測(cè)量單元(SMU)

　　●±210 V/100 mA或±210 V/1 A模塊

　　●100 fA測(cè)量分辨率

　　●選配前端放大器提供了0.1 fA測(cè)量分辨率

　　●10 mHz-10 Hz超低頻率電容測(cè)量

　　●四象限操作

　　●2線或4線連接

　　C-V多頻率電容單元(CVU)

　　●AC阻抗測(cè)量(C-V,C-f,C-t)

　　●1 kHz-10 MHz頻率范圍

　　●±30 V(60V差分)內(nèi)置DC偏置源，可以擴(kuò)展到±210 V(420 V差分)

　　●選配CVIV多功能開(kāi)關(guān)，在I-V測(cè)量和C-V測(cè)量之間簡(jiǎn)便切換

　　脈沖式I-V超快速脈沖測(cè)量單元(PMU)

　　●兩個(gè)獨(dú)立的或同步的高速脈沖I-V源和測(cè)量通道

　　●200 MSa/s，5 ns采樣率

　　●±40 V(80 V p-p)，±800 mA

　　●瞬態(tài)波形捕獲模式

　　●任意波形發(fā)生器Segment ARB®模式，支持多電平脈沖波形，10ns可編程分辨率

　　高壓脈沖發(fā)生器單元(PGU)

　　●兩個(gè)高速脈沖電壓源通道

　　●±40 V(80 V p-p)，±800 mA

　　●任意波形發(fā)生器Segment ARB®模式，支持多電平脈沖波形，10ns可編程分辨率

　　-V/C-V多開(kāi)關(guān)模塊(CVIV)

　　●在I-V測(cè)量和C-V測(cè)量之間簡(jiǎn)便切換，無(wú)需重新布線或抬起探針

　　●把C-V測(cè)量移動(dòng)到任意端子，無(wú)需重新布線或抬起探針

　　遠(yuǎn)程前端放大器/開(kāi)關(guān)模塊(RPM)

　　●在I-V測(cè)量、C-V測(cè)量和超快速脈沖I-V測(cè)量之間自動(dòng)切換

　　●把4225-PMU的電流靈敏度擴(kuò)展到數(shù)十皮安

　　●降低電纜電容效應(yīng)

　　4200A-SCS-PKA高分辨率IV套件

　　4200A-SCS：參數(shù)分析儀主機(jī)

　　4201-SMU：兩個(gè)用于高容量設(shè)置的中功率SMU

　　4200-PA：一個(gè)預(yù)放大器

　　8101-PIV：一個(gè)帶有采樣裝置的測(cè)試夾具

　　4200A-SCS-PKB高分辨率IV和CV套件

　　4200A-SCS：參數(shù)分析儀主機(jī)

　　4201-SMU：兩個(gè)用于高容量設(shè)置的中功率SMU

　　4200-PA：一個(gè)預(yù)放大器

　　4215-CVU：一個(gè)高分辨率多頻C-V單元

　　8101-PIV：一個(gè)帶有采樣裝置的測(cè)試夾具

　　4200A-SCS-PKC高功率IV和CV套件

　　4200A-SCS：參數(shù)分析儀主機(jī)

　　4201-SMU：兩個(gè)用于高容量設(shè)置的中功率SMU

　　4211-SMU：兩個(gè)用于高容量設(shè)置的高功率SMU

　　4200-PA：兩個(gè)預(yù)放大器

　　4215-CVU：一個(gè)高分辨率多頻C-V單元

　　8101-PIV：一個(gè)帶有采樣裝置的測(cè)試夾具

　　4200-BTI-A超快NBTI/PBTI套件

　　用于使用硅CMOS技術(shù)進(jìn)行的復(fù)雜NBTI和PBTI測(cè)量

　　4200-BTI-A套件包括：

　　1個(gè)4225-PMU超快I-V模塊

　　2個(gè)4225-RPM遠(yuǎn)程預(yù)放大器/開(kāi)關(guān)模塊

　　自動(dòng)化檢定套件(ACS)軟件

　　超快BTI測(cè)試項(xiàng)目模塊布線